本机是主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节，具有容量大、效率高的特点。
主要特点：
彩色液晶触摸屏实时监控，可存储多种工艺菜单。
腔体和转架采用316不锈钢，电化学抛光处理。
去离子水电阻率监控功能。
无刷电机驱动
氮气温度控制
转轴氮气密封
具有锁盖防护功能
故障诊断、显示、报警功能
可提用户特殊要求配置
LCS系列立式旋转冲洗甩干机
所属分类：半导体电子设备
本机是主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节，具有容量大、效率高的特点。 主要特点： 彩色液晶触摸屏实时监控，可存储多种工艺菜单。 腔体和转架采用316不锈
