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硅片甩干机的概念及主要部件和应用场景有哪些

时间:2023-05-25
硅片甩干机是半导体行业中常用的工艺设备，主要用于将半导体材料制成的硅片经过清洗后，使用高速离心旋转甩去表面水分和氧化层。
硅片甩干机的主要部件包括离心机和处理室。离心机采用高速离心方式，通过高速旋转，产生离心力使硅片甩干；而处理室则起到对硅片的保护作用，防止硅片在甩干的过程中受到损坏。
硅片甩干机广泛应用于半导体制造、太阳能电池等领域，可以快速、有效地去除硅片表面的水分和氧化层，并在不影响硅片质量的情况下提高生产效率。
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